用于清洁气体的微机电系统质量流量传感器和仪表 微机电系统质量流量传感器采用公司专有的微机电系统质量流量传感技术制造，具有大动态范围、高精度和长寿命的特点。微机电系统传感元件设计有压力平衡器，允许在高工作压力下应用。典型的应用包括: 1.医疗器械或设备，如呼吸机、麻醉设备、哮喘检测器、自动旋转仪、内窥镜、伽玛刀、CPAP等等 2.过程控制和监控如焊接过程、气体混合器、食品包装机器人控制、堵塞感应风扇监控等等 3.使用仪器，如气相色谱光谱仪、气体控制设备、空气取样器、泄漏检测、气体分析仪等 4.半导体设备例如管芯附着、引线键合机、湿化学工作台监控器 5.智能家居/暖通空调，提供对通风橱通风的监控和效率反馈。 Siargo成立于2003年，是****的微机电系统质量流量传感产品供应商，我们正在将我们的技术扩展到微流体、压力和气体传感产品和应用